出气率测量装置真空度问题
2008-6-27
样品室真空度-3pa量级，测量室-4量级。经过烘烤以及停止烘烤9个小时连续抽气，样品室真空度下降到-4量级。
烘烤后持续抽气对真空度意义很大。

真空计校准
烘烤前的曲线已经记录。到3.0E-4pa两者示数相同。
烘烤后气压上升，两个真空计的示值有差别，基本和下降曲线吻合。持续烘烤10个小时后，“黑”的略低于白（白0.00021，黑0.00018）。停止烘烤，一个小时后为（白0.00017，黑0.00011），再抽气9小时，没有变化。怀疑有漏，检漏发现白电离接口有小漏。紧固无效。此时黑数值大于白。

分析：之前黑小于白是由于白附近有漏，现在情况有变，是因为黑的温度大于白，水气多。

于是停止烘烤，两者数值趋于一致。打开空调除湿，大概一个小时。关闭检漏仪。发现真空度突然变好，为3E-5帕，并逐渐下降。11点时质谱仪结果比较各成分数值均下降为9点显示的1/5，氧气含量也很小，基本为0。